激光促進蝕刻是通過對置于反應性氣氛中的材料表面照射激光束，選擇性的除去光束照射部分的加工方法可以分為激光的熱作用和光化學作用。熱作用是激光能量直接被材料吸收，使照射光束部分的溫度上升，并且熔融引起化學活性化作用，促進蝕刻。光化學作用是激光能量被反應性氣氛吸收，在該氣氛中產生離子或游離基，由離子或游離基與材料的化學反應實現加工。
這里所說的反應性氣氛是指蝕刻用的化學溶液或者反應性氣體。采用化學溶液的濕式方法，有只在靜止溶液中浸漬材料的方法和通過循環使溶液流動的方法，在材料表面的光束照射部位產生氣泡時，后者的方法是有效的。采用反應性氣體的干式方法，是在蝕荊室中放置材料，從外面穿過石英玻璃窗口照射光束。在形狀加工時，必須使材料與光束的位置作相對移動。包括固定光束，使材料沿xY軸向移動的方法和固定材料，用反射鏡進行光束掃描的方法。在加工微細形狀時，由于光束的光斑小，因此采用光束固定，材料移動的方法是比較有利的。
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